三協化成株式会社

研究/製造設備

主力製造施設

F11

最先端フォトレジスト中間体をはじめ、金属含有量が10ppb以下対応の電子材料製造専用プラント

F-11工場は合成ゾーンと精製ゾーンを分離し、製品の精製から充填までクラス100,000のクリーンルームで対応します。合成は3,000L~6,000Lの反応釜(ツインスター翼)も有しており、少量からの反応を可能にしています。

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主要施設概要
  • ・製品の精製から充填までをクラス100,000のクリーンルームで対応
  • ・グラスライニング製の反応釜を保有
  • ・テフロンライニング製のフィルタードライヤ(密閉式濾過器)を2基保有
  • ・テフロンライニング製のマンホールを採用(コンタミ防止)
  • ・SUS製の床材を採用(環境からのコンタミ防止)
  • ・全工程で超純水(メタル分1ppb以下)を使用
  • ・グラビティーフローによる製造
  • ・DCS(パソコン自動制御システム)による24時間監視
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主要工場設備

F3

3,000Lの反応釜を多数設置したマルチ対応の機動性の高い工場

  • ・粗製品の合成ゾーン
  • ・6,000L GL釜×3基
  • ・移動ブース

3,000Lの反応釜を多数設置したマルチ対応の機動性の高い工場

  • ・合成ゾーンとの隔離(コンタミ防止)
  • ・クリーンエアー噴出しの固定ブース設置
  • ・6,000L GL釜×2基
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F3

3,000Lの反応釜を多数設置したマルチ対応の機動性の高い工場

  • ・DCS導入による監視システム強化

3,000Lの反応釜を多数設置したマルチ対応の機動性の高い工場

  • ・オペレーターによる工程分析管理
  • ・液体クロマトグラフィー
  • ・ガスクロマトグラフィー
  • ・水分計
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F3

3,000Lの反応釜を多数設置したマルチ対応の機動性の高い工場

  • ・金属分10ppb以下の粉体製品の取り扱い
  • ・クリーンルーム(クラス100,000)
  • ・2.5㎡フィルタードライヤー(PFA)×1基(精製用)
  • ・42インチ遠心分離器(SUS)×1基

3,000Lの反応釜を多数設置したマルチ対応の機動性の高い工場

  • ・粗製品を合成するゾーン
  • ・3,000L GL釜×2基
  • ・6,000L GL釜×1基

3,000Lの反応釜を多数設置したマルチ対応の機動性の高い工場

  • ・2.5㎡フィルタードライヤー(PFA)×1基(粗製品用)
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F3

3,000Lの反応釜を多数設置したマルチ対応の機動性の高い工場

  • ・濾過残渣飛散防止のための隔離室
  • ・1m2濾過器(GL)×1基

3,000Lの反応釜を多数設置したマルチ対応の機動性の高い工場

  • ・金属分10ppb以下の粉体製品取り扱い
  • ・クリーンルーム(クラス100,000)
  • ・真空棚型乾燥器(SUS)×2基
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F3

3,000Lの反応釜を多数設置したマルチ対応の機動性の高い工場
建物概要鉄骨造4階建

主要設備
クリーンルーム
(クラス100,000)
※床SUS製
GL反応釜(ツインスター翼) 3,000L2基
6,000L6基
フィルタードライヤー(テフロン)2基
SUS棚型乾燥器2基
分析室、計器室
超純水設備利用
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