三協化成株式会社

研究/製造設備

主力製造施設

F5

3,000Lの反応釜を多数設置したマルチ対応の機動性の高い工場

3,000Lの反応釜を中心に500~6,000Lスケールの反応釜を設置。様々なスケールに対応出来る機動性の高い工場(S-Solutionの中核工場)

プラント設備
反応釜SUS3161,000L1基
SUS316500L1基
SUS3043,000L4基
GL1,000L4基
GL3,000L7基
GL6,000L2基
濾取器1.5m2 1基
遠心分離機SUS3041基
ハステロイライニング1基
真空ポンプ4基
コンプレッサー2基
冷凍機1基
スクラバー7基
01 02

F3

3,000Lの反応釜を多数設置したマルチ対応の機動性の高い工場

メタルコンタミネーションフリーの専用工場で、GL釜・テフロンライニング濾過器・乾燥機などを設置しております。金属含有量10ppb以下の固体化合物の反応→精製→乾燥→包装までの一貫製造が可能で、現在、i線・エキシマ用フォトレジストKrF、ArFレジストの中間体などを製造しています。

プラント設備
反応釜GL3,000L5基
GL6,000L2基
濾取器GL1.5m2 1基
フィルタードライヤーSUS+テフロンライニング1基
遠心分離機SUS316L1基
棚型乾燥機SUS3042基
真空ポンプ8基
コンプレッサー3基
冷凍機2基
脱臭装置1基
スクラバー2基
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