3,000Lの反応釜を中心に500~6,000Lスケールの反応釜を設置。様々なスケールに対応出来る機動性の高い工場(S-Solutionの中核工場)
反応釜 | SUS316 | 1,000L | 1基 |
SUS316 | 500L | 1基 | |
SUS304 | 3,000L | 4基 | |
GL | 1,000L | 4基 | |
GL | 3,000L | 7基 | |
GL | 6,000L | 2基 | |
濾取器 | 1.5m2 | 1基 | |
遠心分離機 | SUS304 | 1基 | |
ハステロイライニング | 1基 | ||
真空ポンプ | 4基 | ||
コンプレッサー | 2基 | ||
冷凍機 | 1基 | ||
スクラバー | 7基 |
メタルコンタミネーションフリーの専用工場で、GL釜・テフロンライニング濾過器・乾燥機などを設置しております。金属含有量10ppb以下の固体化合物の反応→精製→乾燥→包装までの一貫製造が可能で、現在、i線・エキシマ用フォトレジストKrF、ArFレジストの中間体などを製造しています。
反応釜 | GL | 3,000L | 5基 |
GL | 6,000L | 2基 | |
濾取器 | GL | 1.5m2 | 1基 |
フィルタードライヤー | SUS+テフロンライニング | 1基 | |
遠心分離機 | SUS316L | 1基 | |
棚型乾燥機 | SUS304 | 2基 | |
真空ポンプ | 8基 | ||
コンプレッサー | 3基 | ||
冷凍機 | 2基 | ||
脱臭装置 | 1基 | ||
スクラバー | 2基 |